一款可全面實現對半導體材料及各種硬脆材料切割加工的高精度數控多線切割機床在湖南省問世,其核心原創技術——高精度高速低耗切割控制關鍵技術及高檔數控多線切割機床,日前通過了湖南省科技廳組織的鑒定。
此舉解決了長期以來我國半導體材料切割加工的瓶頸,標志著我國已成為全球少數幾個掌握高檔數控多線切割機床制造技術的國家之一。
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動,把磨料帶入半導體加工區域進行研磨,將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片薄片的一種新型切割加工方法。數