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精密和超精密加工技術的新進展(2)
2009年2月1日
5.精密磨削和精密研磨技術的發展
5.1 精密鏡面磨削技術的發展
近年來,國外對精密磨削和精密研磨技術的研究開發獲得了不少成果和進展。日本國家理化學研究所的大森整教授研制成功了在線修整砂輪的ELID鏡面磨削新工藝,可以對多種不同材料如鋼、硬質合金、陶瓷、光學玻璃、硅片等零件的平面、外圓和內孔進行鏡面磨削。ELID鏡面磨削使用特制的鐵基結合劑細粒度金剛石或CBN砂輪,在磨削時在線對砂輪進行電解修整,電解修整砂輪用的電解液同時用作磨削液要求這種電解液不腐蝕機床。用EL
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